蒸發(fā)鍍膜設(shè)備—產(chǎn)品對比速覽
發(fā)布時間：2020-06-18
①性能參數(shù)
設(shè)備型號 | 工作溫度 | 升溫速率 | 控溫精度 | 功率 | 產(chǎn)品特點 |
最高800℃ | ≤10℃/min | ±1℃ | 10KW | 1、頂部載樣臺轉(zhuǎn)速可調(diào)0-10rpm 2、導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片作為載樣臺 3、兩樣品臺距離可控 | |
最高1700℃ | 0.3℃/S(≤1200℃) 0.15℃/S(1200-1500℃) | ±1℃ | 1、樣品臺可以旋轉(zhuǎn) 2、樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié) | ||
1200℃（連續(xù)）1350℃（<1h) | ≤30℃/min | ±1℃ | 可插式蒸發(fā)儀 | ||
最高1700℃ | ±1℃ | 1.2KW | 1、四個蒸發(fā)坩堝可依次蒸發(fā) 2、Φ50樣品臺與蒸發(fā)源距離可調(diào)節(jié) | ||
10KW | 獨立蒸鍍控制器 | ||||
最高1200℃ | 1.2KW | 1、可與準分子激光器配合進行PLD 制膜 2、腔體內(nèi)部可安裝多塊靶材 |
②外形參數(shù)
設(shè)備型號 | 加熱元件 | 爐管尺寸及材料 | 外形尺寸 | 重量 |
紅外燈管 | 790×600×1100mm | |||
鎢絲籃 | 石英腔體： 167 OD x 152ID x 260mmH | 440×330×630mm | 40kg | |
鎢絲 | ||||
鎢絲籃 | 石英腔體： 280 OD x 260 ID x310mmH | 550×550×750mmH | 80kg | |
不銹鋼腔體： Φ300×400mmH | 650×1200×1600mmH | 600kg | ||
摻鉬鐵鉻鋁 | 高純石英腔體 | 1300×1260×820mm |
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