| 射頻電源 | 輸出：5-100W（可調），穩(wěn)定性：± 1% 頻率：13.56MHz，穩(wěn)定性：±0.005% 匹配方式：手動匹配 冷卻方式：風冷 噪音量：<50 dB 輸入：110 -240VAC, 50/60Hz
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| 尺寸 |
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| 可選配件 | 1英寸高真空磁控濺射頭，可自己搭建RF或DC濺射鍍膜儀 當同時購買100W射頻發(fā)射器和1英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭 此快速接頭的內徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸 循環(huán)水冷機，流量為16L / min ，水箱容積為6L |
| 質保期 | 一年質保期，終生維護 |
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