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1200℃三溫區(qū)雙管爐
關鍵字:
石墨烯生長爐
型號:
OTF-1200X-III-D5-4
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-5-III-D4?是一款三溫區(qū)的雙管爐,其最高工作溫度可以達到1200℃,專門針對于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質(zhì),如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等。
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技術參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
名稱

1200℃小型三溫區(qū)開啟式管式爐OTF-1200X-III-C


爐體結(jié)構(gòu)

·采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng)

 

·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命) 

 

·可選購石英管堵及石英坩堝,可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度(圖三、四)

 

·設有開門斷電功能,提高實驗安全性(圖五、六)

 

·石英爐管:外管直徑為 130 mm,內(nèi)管直徑為100mm,使用時把金屬箔附在內(nèi)管壁上用于CVD反應

 

·雙管真空密封法蘭,反應氣體通過兩個管(20mm空隙)流動并進行反應,強制對流空氣可以通過中心管進行快速冷卻(點擊下列圖片查看詳情)(圖七)

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基本參數(shù)

熱偶K型熱偶    建議升溫速率≤10℃/min   

 

溫度1100℃ 1200℃<1h)  電源:AC220,50Hz   最大功率:7KW


加熱區(qū)

加熱區(qū)長度:900mm (三溫區(qū):229mm+457mm+229mm)


加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命)


法蘭

·采用鉸鏈式法蘭和O形密封圈加上機械泵可使真空度達到10-2Torr

 

·法蘭1包含不銹鋼針形閥(點擊圖一查看訂購轉(zhuǎn)接頭)

 

·法蘭2包含kf5真空接口,方便連接真空泵

 

·法蘭采用水冷法蘭。當工作溫度超過900°C時,需要使用冷卻水(圖二)

 

·可選:您可在我公司選購液相氣體發(fā)生器,可配合管式爐及CVD系統(tǒng)使用(圖三)

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爐管尺寸

·高純石英管尺寸:

 

·內(nèi)管尺寸:100 OD x 94 ID x 1800 L (mm)

 

·外管尺寸:130 OD x 120 ID x 1440 L (mm)

 

·使用時需放置管堵,點擊下圖查看詳情

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可選

·可在我公司選購石墨烯生長銅箔(圖一)

 

·可在我公司選購移動爐架放置設備(圖二)

 

·可在我公司選購質(zhì)子流量計、真空機組等,支撐設備的同時可向設備內(nèi)通入各種混合氣體(圖三)

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密封法蘭

·一對SS304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi)

 

·兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上(圖一)

 

·一個真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭(圖一)

 

·可選:您可以選購kf25真空口法蘭(圖二)

 

·可選:您可以訂購法蘭支架(圖三)

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溫控系統(tǒng)

·包含一款YD858P型溫度控制器

 

·PID自動控溫系統(tǒng)

 

·智能化50段可編程控制

 

·控溫精度:±1℃

 

·三個溫區(qū)分別有三個獨立的溫控系統(tǒng)控制

 

·默認DB9 PC通信連接端口

 

·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù)

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外形尺寸

2100 L x 450W x 630 H mm


凈重

90Kg


質(zhì)保期

一年保修,終身技術支持。


特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


點擊查看售后服務承諾書。


真空系統(tǒng)

·通過機械泵可達到50mTorr(參考值,詳情請點擊

 

·通過分子泵泵可達到10E-5 Torr(參考值,詳情請點擊

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·可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染

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質(zhì)量認證

·此產(chǎn)品已通過CE認證

  證書編號: M.2021.206.C67997

·若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證


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使用注意事項

·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

 

·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

 

·當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當

 

·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

 

·石英管的長時間使用溫度<1100℃

 

·對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


應用提示

·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭

 

·為了在管式爐內(nèi)獲得準確的溫度,在使用前需要校準溫度,請點擊這里了解如何使用


免責聲明

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