| 設備名稱 | ? 旋轉CVD管式爐系統--OTF-1250X-R8-III （2019.12.6—科晶實驗室審核） |
| 產品提示 | |
| 主要特點 | ? 開啟式管式爐設計方便進行爐管的更換和維修 ? 爐管旋轉速度可調（0-10rpm） ? 爐管傾斜角度可調（0-15°） ? 可大批量處理粉料（每批25Kg） |
| 基本參數 | ? 連續工作溫度： 石英管：400~1100℃（最高工作溫度：1200℃） NiCrAl合金管：400~1250℃（最高工作溫度：1250℃） ? 建議升溫速率：≤10℃/min ? 恒溫精度：±1℃ ? 電源：AC208-240，三相 ? 爐體最大功率：30KW 更多參數請聯系科晶銷售部 |
| 加熱元件 | ? SiC棒 |
| 溫控系統 | ? PID自動控溫系統 ? 智能化50段可編程控制 ? 具有超溫及斷偶報警功能 ? 通信端口：RS485 |
| 爐體結構和爐管尺寸 | ? 采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統 ? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命） ? 一個直流電機驅動爐管轉動，轉速可調（0-10 r/min）。 ? 高純石英管尺寸：8.5" OD x 8.1" ID x 63" L 內部焊接有揚料板，使粉體燒結更加充分和均勻 ? NiCrAl合金管尺寸：8" OD x 7" ID x 63" L ? 兩個氧化鋁管堵與法蘭連接置于爐管兩端隨爐體轉動，防止熱量以熱輻射的形式損失 |
| 密封法蘭 | 爐管包含一套密封法蘭，標準配置如下： ? 采用鉸鏈式法蘭（方便進行裝卸料） ? 機械壓力表（范圍-0.1MPa~0.15MPa） ? 不銹鋼針閥&1/4"軟管接頭，KF25真空接頭以及1/4"接頭 ? 旋轉接頭：采用動密封旋轉接頭，進氣口Φ6mm，所有配件都為可旋轉配件 注意：由于石英管和合金管外徑不同，故兩管法蘭不能互換使用 |
| 尺寸 | ? L1600mm * W800mm * H1900mm |
| 重量 | ? 約900 Kg |
| 質保 | ? 一年質保期，終生維護 ? 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
| 認證 | ? 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。 |
科晶實驗室對旋轉爐設備做了一系列實驗研究：
一、熱處理實驗結果：
實驗 | 結果 |
碳粉 |  |
氧化鋯球 |  |
瀝青 |  |
二、CVD實驗結果：
實驗 | 結果 |
乙炔氛圍包覆碳 | 高溫時，粉末粘黏石英管內壁，包覆率為2% |
混合氣氛圍包覆碳 | 高溫時，粉末粘黏石英管內壁 |
氧化物小球包覆瀝青 | 輕微結塊，包覆率為13% |
發生粉末堵塞法蘭現象：
使用粉末過濾器過濾尾氣，可避免堵塞情況發生：
若有疑問或需要更多詳細數據請聯系科晶實驗室
應用技術提示 | ? 使用冷阱時，由于是剛性連接，注意冷阱與腔體保持在同一水平線上，避免腔體升降產生應力導致接口脫離。 ? 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。 ? 各型號回轉爐的裝料量。
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警示 | ? 降溫時請利用程序降溫，不建議直接按：“STOP”鍵降溫，設備溫度500度以上禁止關閉電源，以免發生誤開誤傷事故。 ? 不得通入氯化物，硫化物等易腐蝕氣體，易造成法蘭，波紋管（選配）等不銹鋼材質的配件損壞。 ? 請注意選配的爐管使用的溫度。選配爐管具體情況請和我公司銷售溝通。 ? 高溫爐爐管不建議正壓使用，若使用正壓壓強爐管內氣壓絕不可高于0.02MPa。 ? 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 ? 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當。 ? 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 ? 石英管的長時間使用溫度＜1000℃。 |
相關可選 | ·可選用真空系統配套使用： 機械泵真空度達 50 mtorr(圖1)； 分子泵真空度可達 10E-4 torr。(圖2) ·如果使用腐蝕性氣體，請使用冷阱或防腐干泵。(圖3) ·可選購合肥科晶的減壓閥配套使用。(圖4) ·對于化學氣相沉積涂層，您可以選擇我們的多通道氣體輸送系統和自動送氣系統。（圖5） ·可選購本公司的自動進料器，與回轉爐配合使用。（圖6） ·在爐管的另一端安裝一個不銹鋼罐，用來收集燒結后的粉末，整個過程密閉。（圖7） ·為了使固體粉末順利流入加工管，您可能需要帶KF25開口的管法蘭（圖8）將兩個可能的旋轉組件（圖9、圖10）中的一個連接到KF25法蘭上。 ·全新筆記本電腦，配備Windowns 10和Office 2013（30天免費試用）可即時使用（圖11），基于Labview的溫度控制系統(EQ-MTS01)使用戶能夠編輯溫度剖面，管理熱處理配方，記錄和繪圖數據（圖12）。無線遙控提供了高達300米的操作范圍。 注:本軟件僅與科晶宇電溫控器兼容 ·微量氧分析儀（0-1000ppm）。（圖13） 注意：氧分析儀需安裝在一側法蘭處并且保持氣體流動進行測試分析 圖1 圖2 圖3 圖4
圖5 圖6 圖7 圖8 圖9 圖10 圖11
圖12 圖13 |
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