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高速自動化學機械拋光(CMP)機(300mm底盤,配自動送料器)
型號:
UNIPOL-1203
產品概述:
UNIPOL-1203化學機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產品名稱

化學機械磨拋機—UNIPOL-1203

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及下排水

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:無

4、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風裝置:不需要

主要特點

1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。

2、超精旋轉軸(托盤端跳小于0.01mm)。

3、設有兩個加工工位,可分別進行控制。

4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。

5、配置自動滴料器,流量速率可視化調整,自動研磨和拋光。

6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調節壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。

7、研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕。

技術參數

? 主機部分:

1、電源:220V

2、功率:450W

3、磨拋盤轉速:10-240rpm

4、磨拋工位:2個

5、擺臂調節檔位:1-15檔

6、托盤端跳:0.008/250mm

7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm

8、載樣盤:φ105mm

9、修盤環:φ127.5mm


? GPC-100A精密磨拋控制儀:

1、載樣盤直徑:?103mm

2、載樣盤軸向行程:12mm

3、數顯表精度:0.001mm

4、載樣盤可調加載壓力:0.1kg-2.1kg

5、壓力確認儀有效量程:1g-5000g

6、樣品裝卡方式:真空吸附

7、承載樣件尺寸:直徑≤103mm、 厚度≤12mm

8、尺寸:外徑146mm,高266mm


? 自動滴料器:

  SKZD-2滾筒滴料器

1、容積:1.5L

2、流量:0-35ml/min

3、尺寸:170×290×350mm;

4、重量:3kg


  SKZD-4自動滴料器

1、加液泵:4個

2、料液瓶:600ml/瓶

3、計時范圍:1-999min

4、流量:0.1ml/min-10ml/min

5、尺寸:230×370×450mm;

6、重量:10kg

產品規格

1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm

2、重量:74Kg

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