| 設(shè)備名稱(chēng) | 高溫高真空退火爐GSL-2000X-HV |
| 結(jié)構(gòu)特點(diǎn) | ? 采用SS304不銹鋼真空腔體，尺寸：φ666mm×560mm H ? 底部樣品臺(tái)電動(dòng)升降，裝卸樣方便快捷 ? 最高真空度：10-6Torr ? 最高工作溫度：2000℃ |
| 基本參數(shù) | ? 電源：AC380V 50/60HZ ? 功率：22 KW ? 加熱元件：石墨 ? 加熱空間尺寸：φ220× 280mm H ? 理想放樣空間尺寸：φ180mm×180mm H ? 加熱元件最高工作溫度：2000℃ ? 升溫速率：室溫-1000℃≤15℃/min，1000-1600℃≤10℃/min，1600-2000℃≤8℃/min。
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| 溫控系統(tǒng) | ? PLC+人機(jī)界面控制 ? C型熱電偶進(jìn)行測(cè)溫和控制 ? PID控制 ? 具有超溫及斷偶報(bào)警功能 ? 控溫精度：±1℃ ? 可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集（選配）
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| 控制系統(tǒng) | 設(shè)備的抽真空、加熱等操作全部在電腦上進(jìn)行
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| 真空度 | ? 冷態(tài)下可達(dá)到的最高真空度（真空泵另購(gòu)）： 5*10-2Torr（采用機(jī)械泵機(jī)組，配套抽真空接口KF40接口） |
| 機(jī)械泵（選配） | · 型號(hào)：VRD-48 · 抽氣速率：（48m3/h）13.3L/S · 電機(jī)功率：1500 W · 極限壓強(qiáng)4×10-2 Pa
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| 產(chǎn)品在線(xiàn)展示 |
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| 分子泵（選配） | · 抽氣速率：700L/s · 極限壓強(qiáng)：6×10-6 Pa · 啟動(dòng)時(shí)間：≤9min · 額定轉(zhuǎn)速：36000rpm/min · 冷卻方式：水冷 · 抽氣口接口尺寸：CF160 |
| 水冷設(shè)備（選配） | · 型號(hào)：CW-6300 · 輸入電壓：220-240V 50HZ · 水箱容量：45L · 水流量：70L/min
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| 氣路系統(tǒng)（選配） | ? 真空腔室預(yù)留一個(gè)抽真空KF40抽真空接口，預(yù)留一個(gè)手動(dòng)排氣口（通空氣），預(yù)留18個(gè)進(jìn)氣和出氣孔， 上、中、下各分布6個(gè)氣孔。同時(shí)在進(jìn)氣和出氣端共配置3個(gè)電磁閥，可以通過(guò)控制面板控制電磁閥的通斷， 同時(shí)電磁閥出口處安裝卡套接頭，方便客戶(hù)自己手動(dòng)安裝電磁閥和腔體預(yù)留18個(gè)進(jìn)氣孔之間的連接方式。 ? 其中在一路進(jìn)氣端安裝有一個(gè)單向閥門(mén)。
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| 設(shè)備外形尺寸 | 1850mm*1000mm*2080mm（長(zhǎng)*寬*高） |
| 重量 | 約620KG |
| 注意事項(xiàng) | · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向腔室內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa， 建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)， 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶(hù)使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶(hù)工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體， 請(qǐng)客戶(hù)自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。 · 降溫時(shí)請(qǐng)利用程序降溫，不建議直接降溫，設(shè)備溫度在100℃以上時(shí)不要直接關(guān)掉水冷設(shè)備電源，防止出現(xiàn)安全問(wèn)題 |
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