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1200℃小型雙溫區開啟式管式爐(含樣品移動模塊)
關鍵字:
開啟式、退火處理、快速熱處理、HPCVD、晶體生長
型號:
OTF-1200X-S-II(內部名稱:管式爐 OTF-1200X-S-II(含樣品移動模塊))
產品概述:
OTF-1200X-S-II是一款通過CE認證的小型雙溫區開啟式管式爐,其最高工作溫度可達1200℃,此款管式爐的爐管為高純石英管,其直徑為25mm或50mm。配有一套不銹鋼密封法蘭,右端法蘭連接樣品移動平臺,可自動送入樣品,樣品可在真空狀態或氣氛保護狀態下進行熱處理。管式爐擁有兩個加熱長度為100mm的加熱區,兩個溫區的最大恒溫梯度為200℃,若兩個溫區設置同樣的溫度程序,可得到100mm恒溫區。兩個溫控系統分別獨立控制兩個溫區,都可設置50段升溫程序,控溫精度為±1℃。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產品名稱型號

管式爐 OTF-1200X-S-II(含樣品移動模塊)

產品特點

· 高溫爐采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂油氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和延長使用壽命

· 樣品移動模塊有快速和慢速兩種工作方式

管式爐

· 電源:AC 110V  50HZ/60hz(標配110V220V變壓器)

· 功率:1.2KW

· 最高溫度:1200℃(<1h

· 連續工作溫度:1100

· 推薦升溫速率:≤10/min

· 熱電偶:K

· 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁

· 加熱區長度:200mm100+100

· 爐管尺寸:φ50*600mm

· 兩個溫區分別有兩個獨立的溫控系統控制

· 包含兩個YD858P型溫度控制器

· PID自動控溫系統

· 智能化50段可編程控制

· 控溫精度:±1℃

· 默認DB9 PC通信連接端口

· 通過MET認證

· 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據

圖片24.png圖片25.png


法蘭

左端法蘭:

· 兩φ6.35的卡套接頭作為進氣口使用,并分別通過一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷。

· 安裝了量程為-0.1-0.15MPa的機械壓力表用于觀察爐管內的壓力

· 法蘭內部有一個φ6.35的鎧裝口,用于安裝外徑φ6.35*內徑φ4*300mm的進氣管,進氣管通過管堵到達爐膛中間位置

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右端法蘭:

· 直徑φ60mm的不銹鋼法蘭,內法蘭固定在法蘭支架上,通過螺絲連接內外法蘭。

· 外法蘭上含有一個KF16的接口,可用于安裝數顯真空計;一個φ8mm寶塔氣嘴的出氣口,并通過一個通徑3mm的球閥控制出氣的通斷;一個KF25的接口用于抽真空。

· 通過KF40卡箍快速連接外法蘭與樣品移動平臺

圖片29.png

樣品移動模塊

· 采用步進電機控制平臺的移動,移動距離和速度均可在觸摸屏中設置

· 電源:220V  50/60HZ

· 功率:50W

· 樣品臺有兩種工作方式:快速移動和慢速移動

· 快速移動速度:400mm/min

· 慢速移動速度:0.1-300mm/min(可調)(可根據客戶要求定制不同的移動速度)

· 移動距離:1-300mm(可調)

· 移動模塊接口尺寸:KF40

· 樣品臺尺寸:30*30*10/φ8*185mm

圖片30.png 圖片31.png

真空系統(選配)

· 型號:VRD-16

· 抽氣速率:4.4L/S

· 電機功率:550W

· 極限壓強:4×10-1Pa(不帶負載)

· 實際壓強:≤2 Pa(帶上爐管和密封法蘭,冷態下機械泵抽20分鐘)

· 為了得到更高的真空度,可以選購我公司的其他高真空系統

圖片1.png

· 可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染

圖片33.png


外形尺寸

主機:1450長*400寬*400mm高

控制箱:360長*350寬*200mm高

圖片34.png

重量

38KG

                                               使用注意事項

· 石英管內氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓);

· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向石英管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

· 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責。


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附件

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