| 名稱 | 1200℃自動化進出料快速加熱管式氫氣爐（多種管徑可選） |
| 設備特點 | 1. 可通入純氫，并且有相關的防護措施與尾氣處理 2. 可實現自動法蘭開啟與推拉料 3. 設備配置有進氣電磁閥、電子點火器和探測器，一旦發(fā)生氣體泄漏，將自動切斷進氣 4. 尾氣燃燒處理，無明火，可自動檢測尾氣處理是否正常。 5. 可實現快速升降溫，通過系統(tǒng)控制與工藝配合實驗精確控制。 6. 采用觸摸屏操作（純機械操作可選），數據可導出
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| 基本參數 | 最高使用溫度 1200度 長期使用溫度 1100度 最大升溫速率20度/分 最大降溫約速率50度/分 加熱原件：電阻絲（進口高質量可選） 操作方式：觸摸屏配合機械按鈕 可放入樣品尺寸XXX 外形尺寸：XXX 重量：XXX |
| 加熱爐 | 根據樣品尺寸選擇標準加熱爐模塊
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| 爐管及法蘭 | 1.材質：高溫不銹鋼（可選鎳基合金不銹鋼管） 尺寸：XXXX 2.附帶石英內襯，污染后可清洗更換（確保內村在燒結中不想變形） 3.采用無氧銅密封圈（一次性耗材）確保密封 4.爐管可移動（將根據最終方案決定爐管移動或者爐體移動）配備自動降溫系統(tǒng) 5.全自動開啟法蘭 6.配備有爐管防爆網
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| 進氣與出氣過程 | 1. 進氣端安裝有兩路進氣系統(tǒng)，一路為保護氣體進氣，一路為工作氣體進氣，工作氣體進氣通過一個浮子流量計和進氣電磁閥，當檢測系 漏時將自動關閉工作氣體進氣電磁閥，同時打開保護氣體進氣電磁閥，往爐管內充入保護氣體； 2. 出氣端安裝有兩路出氣系統(tǒng)，一路為工作氣體出氣口，一路為預留出氣口。工作氣體出氣口安裝有一浮子流量計，浮子流量計量程0.2 裝有一個電子點火器，用于對工作氣體進行電子點火
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| 溫度控制 （國產儀表可選） | 1.控儀表為歐陸3504程序溫控儀表 2.PID自動控溫系統(tǒng) 3.可存儲10段溫度曲線（每段曲線可設置500段程序） 恒溫控溫精度：±0. 1 ℃ ·設有超溫報警，以防止人員誤操作 面板上有EIA485通訊接口，可以電腦相連接（用電腦控制儀器） 4.確保爐溫與實際溫度一致，并且提供溫區(qū)分布參考圖（數據）
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| 氣體探測器 | 1.配有兩套氫氣探測器在此系統(tǒng)中，一套為固定式，安裝在固定支架上面，可以實時監(jiān)測設備氫氣的泄漏情況；一套為便攜式，可以隨時對 進行監(jiān)測。 2.氫氣監(jiān)測范圍：1-1000ppm · 工作溫度：-20℃——60℃ 3.報警點設置：氫氣報警器設置有兩個報警，第一級的報警點50ppm，一旦探測到氫氣濃度達到此值時，氫氣報警器將發(fā)出蜂鳴報警聲，提 點。 第二級的報警點為100ppm，一旦探測到氫氣濃度到達此值時，系統(tǒng)自動關閉氫氣進氣閥。
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| 自動進出料系統(tǒng)（手動可選） | 1. 一個K型(S型可選)的鎧裝熱電偶通過法蘭伸入到爐管中，并可隨坩堝移動，可實時監(jiān)測樣品的實際溫度。 2. 通過步進電機移動爐管內的坩堝（樣品臺），最大行程為200mm。（根據無桿氣缸組件配不同的爐子行程不同，客戶可定制行程） · 通過觸摸屏設定坩堝一定的距離和目標位置，坩堝移動速度為180mm/min（可根據要求提供變速控制，需要定制速度購買前請與銷售溝通 但需額外付費）。 3. 可根據要求提供用于晶片的氮化鋁樣品架或石墨平板基底支架，將收取額外的定制費
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| 真空泵 | 1. 根據實際情況選擇標準真空泵，用于實驗前洗氣 2. 配備防腐真空計 3. 控制集成到整體系統(tǒng)
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| 供氣系統(tǒng) | 1. 氫氣專用質子流量計與密封 2. 根據客戶具體工藝選擇相應路數的供氣系統(tǒng) 3. 根據最終方案選擇集成或者標準產品 4. 控制集成到整體系統(tǒng)
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皖公網安備 34012302000974號
