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1100℃流化床CVD(FBCVD)爐 (配φ22mm法蘭用于粉末CVD)
關鍵字:
管徑Φ25mm
型號:
OTF-1200X-SFB
產品概述:
OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式爐,Φ25mm石英爐管(爐管中心區域直徑為Φ50mm),用于粉末CVD實驗(FBCVD)。石英管中焊接一個微孔石英板,實驗時樣品粉末放置于微孔石英板上。微孔石英板上的微孔尺寸15~40um,允許調節氣流通過微孔石英板,使粉末在爐體加熱區域懸浮起來,粉末和反應氣體發生反應或沉積。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
流化床區域

· 在爐管內部的一個橫截面上能到達一個均勻的氣流分布

· 固體顆粒通過上升的氣體,穩定地懸浮在一個區域

· 對于每一個樣品顆粒都能達到一個極好地熱交換和包覆效果

· 打開密封法蘭,處理好的材料可從爐管頂部倒出

注意:氣體以足夠高的流速上升穿過微孔石英板使粉末漂浮起來。然而如果氣體流速太高,粉末可能會飛出石英爐管。所以用戶需根據粉末的顆粒度,調節氣壓和流速,使粉末穩定地漂浮在爐管中心。

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微孔石英板

· 石英管內焊接有一個微孔石英管,爐管頂部和底部進氣,強制氣體對流,使粉末樣品顆粒均勻漂浮在加熱區中心

   微孔石英板:多孔: 15~40 um,尺寸:Φ 22mm  x 4mm (厚)

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可選爐管

可選SS310不銹鋼罐,可高溫高壓使用

最高溫度:800℃

最大氣壓10MPa(安裝有一個自動泄壓閥)

可增加ALD系統,與設備配合,對粉體材料包覆

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爐體結構

雙層殼體結構,并帶有風冷系統

爐體開啟式設計,方便更換爐管

采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,最大提高加熱效率


功率

1200W


電壓

AC208~240V  單相   50/60Hz


最高工作溫度

1200℃(<1小時)


連續工作溫度

1100℃


最大加熱速率

20℃/min


爐管尺寸和材質

1根異形石英管,兩端細,中間粗

兩端:外徑25mm×內徑22mm,  中間:外徑50mm×內徑44mm

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密封法蘭

底部法蘭:配有一套直徑為Φ25mm,安裝有機械壓力表,閥門和Φ6.35mm通氣接口

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可選

可選購混氣系統,用于CVD或ALD實驗

可選購氧傳感器,來檢測爐管內部的氧含量

可選購超聲噴霧系統,可將液體前驅體霧化到爐管內部

可選購自動粉料進料機構

圖片12.png圖片13.png 圖片14.png圖片15.png 圖片16.png

加熱區

200mm


恒溫區

60mm


加熱元件

 Fe-Cr-Al 合金摻 Mo


溫控系統

· 可設置50段程序段:加熱速率,降溫速率和保溫時間

· PID方式調節溫度,溫度自整定功能,帶有超溫&斷熱電偶報警

· 超溫保護和報警,避免操作事故發生

· 控溫精度:±1℃

K型熱電偶


設備尺寸

340mm×300mm×1000mm ( W x L x H)


凈重

~20Kg


電腦&軟件(可選)

Labview溫度控制軟件系統(MTS01)可用于用電腦控制爐體:編輯溫度程序參數和導出實驗數據

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質保

一年質保期,終生維護(不含爐管,密封圈和加熱元件等耗材)


質量認證

CE


警告

此管式爐爐管為石英管可在低壓或常壓環境下使用,爐管內正壓需<0.02MPa

注意:氣瓶上必須安裝雙級減壓閥,出口氣壓需減到0.02MPa

當設備使用溫度≧1000℃時,為防止爐管變形,爐管內必須為常壓,不可為負壓


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