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小型提拉法(CZ)單晶生長爐(可用于生長直徑<25mm晶體,最高溫度2100℃)
型號:
IMCS-2000-CZ
產(chǎn)品概述:
IMCS-2000-CZ是一款小型的提拉法(CZ)晶體生長爐,生長單晶直徑<25mm。此設(shè)備最高溫度可達(dá)2100℃,可用于生長Al2O3,GGG,YAG,LaAlO3,Si,Ge和各種金屬單晶等。
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電源需求

·輸入電壓:380VAC,三相  (需要50A空氣開關(guān))

·感應(yīng)加熱最大輸入電流50A

·最大輸出功率25KW


真空腔體

·真空腔體采用304不銹鋼制作

·真空腔體尺寸:Φ320×320mm

·腔體門上有一石英窗口(Φ120mm),用于觀察材料熔化,種籽晶和長晶過程

·一個(gè)KF25接口和一個(gè)KF40真空接口在腔體后端

·LF160接口在腔體右側(cè),用于連接分子泵系統(tǒng)。

圖片3.png

提拉機(jī)構(gòu)

·提拉機(jī)構(gòu)采用精密伺服電機(jī)驅(qū)動

·提拉速度:0.4-15mm/hr

·提拉干旋轉(zhuǎn)速度:0.1-23RPM

·移動行程:0-250mm

·提拉機(jī)構(gòu)可快速移動35mm/min

·可增加上稱重模塊,用實(shí)時(shí)測量提拉出樣品的質(zhì)量與電源功率輸出配合,提高長晶質(zhì)量(需要額外增加費(fèi)用)


真空&氣氛

·真空腔體種可抽真空和通入惰性氣氛

·設(shè)備中配有一個(gè)數(shù)顯防腐真空計(jì)(傳感器上涂油陶瓷涂層),測量范圍為10^-5 ~ 1000 torr

·真空度:5 x 10-6 torr(采用分子泵系統(tǒng))

      5 x 10-2torr(采用機(jī)械泵)

·可在本公司購買各種真空泵

圖片4.png 圖片5.png 圖片6.png

感應(yīng)加熱

·25KW(30-80KHz)感應(yīng)電源,帶有時(shí)間控制器和功率控制器

·感應(yīng)線圈:Φ90mm×80mmH

·其他尺寸線圈可定制

·設(shè)備需要:116L/min的循環(huán)水冷機(jī)(標(biāo)配中包含,需要額外付費(fèi)購買)

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控制面板

·觸摸屏控制面板

·可控制提拉速度,提拉行程,籽晶桿轉(zhuǎn)速和工作溫度


應(yīng)用注意事項(xiàng)

圖片8.png

圖片9.png圖片10.png    圖片11.png圖片12.png

    熔化材料

   籽晶種入到熔液

     提拉開始

生長的氧化鋁單晶

    生長的Ni單晶


設(shè)備尺寸

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