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石英舟(可用于晶圓擴散處理1"-12")
產品概述:
高純度石英舟使用溫度可高達1200℃
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
基本參數

石英舟是由超高純度(4N純度)制成的,用于擴散、氧化和退火,最高 1200

每只能攜帶一個尺寸的晶圓,最多25片,直徑從1"到12",0.5毫米厚

尺寸

可放入爐子   





1“OTF-1200X φ50

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帶石英舟的1"晶圓片

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機械繪圖

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帶石英的1"晶圓片
可放入2"管

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將1"晶圓片置于爐中央

2“OTF-1200X φ80

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帶石英的2"晶圓片

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2"石英橫截面繪圖(mm)-長度180mm

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帶石英的2"晶圓片
可放入3"管

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將2"晶圓片置于爐中央

3“OTF-1200X φ100

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帶石英舟的3"晶圓片

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3"石英橫截面繪圖(mm)-長度180mm

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帶石英舟的3"晶圓片
可放入4"管

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將3"晶圓片置于爐中央

4“OTF-1200X-5L

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帶石英的4"晶圓片

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4"石英橫截面繪圖(mm)-長度180mm

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帶石英的4"晶圓片
可放入5"管

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將4"晶圓片置于爐中央

4"X4“
OTF-1200X-5L 
VBF-1200X-H8

4“ x 4” dimension.jpg

4"的晶圓片配有一艘石英


4"x4"方晶圓片(帶石英)

可放入8"管內

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將4"晶圓片置于爐中央

6"GSL-1100X-8.5-S

GSL-1100X-8.5-S-III

VBF-1200X

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6"石英的尺寸

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帶石英的6"晶圓片
可放入7"管內

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能放入VBF-1200爐中

8"GSL-1100X-11-III

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8"石英的尺寸

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帶石英舟的8"晶圓片
可放入8.5"管內

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將8"晶圓片置于爐中央

12"

OTF-1100X-III

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12"石英的尺寸

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帶石英舟的12"晶圓片
可放入15"管內

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將12"晶圓片置于爐中央



注意事項

·請在接受交貨前檢查包裝是否損壞。

 如果發現損壞,請保留所有包裝材料,拍照,并立即向發貨方報告。


·請注意,此產品屬于易耗品,不在保修范圍內。使用前,請檢查清楚。


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