| 設備名稱型號 | ·1700℃立式CVD系統(帶液體汽化，防腐型法蘭和閥門，可用于SiC薄膜沉積) |
| 高溫爐參數 | ·額定功率：7KW ·額定電壓：AC220V 50/60HZ ·工作溫度：1600℃ ·最高溫度：1700℃（≤30min） ·建議升溫速率： 10℃/min (≤1400℃) 5℃/min ( 1400℃-1600℃) 2℃/min ( >1600℃) ·加熱元件：硅鉬棒 ·熱電偶：B型 ·加熱區長度：400mm ·控溫精度：±1℃ ·爐管尺寸：φ60*1000mm（陶瓷管） 溫控系統： ·包含一款858型溫度控制器；PID自動控溫系統 ·智能化50段可編程控制 ·內置過熱保護和熱電偶故障報警 ·控溫精度：±1℃ ·默認DB9 PC通信連接端口 ·可選購電腦溫度控制軟件(用于858系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據 |
| 不銹鋼密封系統 | ·一對鈦合金水冷法蘭安裝在爐管兩端，采用氟膠O型圈密封。法蘭上含有水管接頭，通過的水管與水冷設備相連接。 ·上端法蘭含有兩個316LEP材質的卡套接頭作為進氣口，分別通過一個316LEP隔膜閥控制進氣的通斷， 其中一個進氣口與氣液混合罐的出氣口相連接，進氣管道為316LEP材質，且包裹了玻璃纖維加熱帶，加熱帶最高加熱溫度200℃； 另外一個進氣口與供氣系統上的出氣口1相連接，進氣管道為316LEP材質；安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa的機械壓力表，用于觀察爐管壓力；
·下端法蘭上的一個φ8mm的寶塔嘴接頭為出氣口，一個316LEP的隔膜閥控制出氣的通斷。出氣端氣體需進行收集處理。 一個KF40接口為抽真空接口，通過波紋管與真空泵相連接，安裝了一個安全泄壓閥，當爐管內壓力達到上限壓力時，安全閥自動打開排氣； 一個KF25接口與過濾桶組件連接。 ·放樣：上法蘭留有樣品吊鉤，用于吊掛樣品，下法蘭也可以預留樣品放置平臺。
上懸掛法 下裝載法 |
| 氣液混合加熱裝置 | ·容量:300ml ·材質：鈦合金 ·最大壓力：0.15MPa ·最高加熱溫度：150℃ ·氣液混合罐的進氣口連接供氣系統的出氣口2 ·進出氣截止閥為316LEP材質的隔膜閥，進出氣管道為316LEP材質不銹鋼管 ·氣液混合罐加熱裝置采用 PID 方式調節溫度，可設置 28 段升溫程序，控溫精度+/-1oC
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| 供氣系統 | ·三個質量流量控制器精準控制氣體流量，量程：1-1000SCCM ·其中第二路的氣體流量計為CS200D ·一路和三路氣體進入混氣罐內混合后從供氣系統的出氣口1+3出氣，出氣口1+3通過不銹鋼氣管與法蘭上的進氣口2相連接 ·第二路氣體通過流量計后從供氣系統的出氣口2單獨出氣，通過四氟管與氣液混合罐的進氣口相連接
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| 氣體探測裝置 （選配） | ·供氣系統上含有兩個氣體探測器，一個為氫氣探測器，一個為氯化氫氣體探測器 ·氣體探測報警器設置有兩極報警，氫氣探測器第一級的報警點為50ppm（氯化氫第一級的報警點為1.5ppm） 一旦探測到的氣體的濃度達到此值時，探測器報警器將發出峰鳴報警聲，提醒客戶檢查漏氣點。 氫氣探測器第二級的報警點為100ppm（氯化氫第一級的報警點為3ppm），一旦探測到氣體溶度達到此值時，系統將自動關閉氣體的進氣閥。
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| 過濾桶組件 | ·下法蘭的KF25接口通過波紋管過濾器連接，兩個過濾器之間通過波紋管串聯在一起。 過濾器尺寸：φ200*300mm，過濾桶內裝有過濾介質（過濾介質客戶自備），右側過濾桶的另一個KF25接口與收集裝置連接（收集裝置客戶自備）
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| 真空系統（選配） | ·型號：VRD-16 ·抽氣速率：4.4L/S ·電機功率：550W ·極限壓強：4×10-1Pa（不帶負載） ·實際壓強：≤2 Pa（帶上爐管和密封法蘭，冷態下機械泵抽20分鐘） ·為了得到更高的真空度，可以選購我公司的其他高真空系統
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| 水冷設備（選配） | ·型號：CW-5000 ·壓縮機功率：0.3KW ·水流速率：16L/min ·水箱容量：6L ·溫度控制：5-30℃ |
| 設備外形尺寸 | ·爐子主體：1180mm（L）*800mm（W）*2200mm（H） ·氣路系統：600mm（L）*800mm（W）*970mm（H）
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| 重量 | ·約330KG |
| 質保 | ·一年質保期，終生維護 ·特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內 |
使用注意事項 | · 爐管內氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）； · 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全， 建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數， 若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。 · 氣體的流量應＜200SCCM（200ml/min） · 由于氧化鋁管制作工藝的原因，爐管在燒結過程中會存在斷管的風險，這是無法完全避免的，請客戶知曉 |
使用注意事項 | · 爐管內氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）； · 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa， 建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數， 若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。 · 氣體的流量應＜200SCCM（200ml/min） · 由于氧化鋁管制作工藝的原因，爐管在燒結過程中會存在斷管的風險，這是無法完全避免的，請客戶知曉 |
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皖公網安備 34012302000974號
