| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ·500 ~ 10000 RPM 旋轉(zhuǎn)速度（程序控制） ·PP材質(zhì)防護(hù)罩，具有抗腐蝕性 ·適用基片尺寸Φ5mm-130mm ·上罩頂部有一個(gè)進(jìn)氣口，可在旋涂時(shí)通入氣體 ·配有一個(gè)20ml的塑料注射器 ·可在Ar環(huán)境下的手套箱內(nèi)使用（真空泵必須放置在手套箱外） |
| 涂布腔體 | ·PP腔體具有抗腐蝕性 ·腔體尺寸: 直徑150 mm ·一系列PTFE真空吸盤（Φ40mm和Φ10mm）
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| 真空泵 | ·配有一臺(tái)抽速為120L/min的無(wú)油真空泵，和直徑Φ8mm的真空管
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| 程序控制 | ·可儲(chǔ)存12條運(yùn)行程序，每套程序可設(shè)置6段步驟 ·轉(zhuǎn)速:500 rpm - 10000 rpm （程序設(shè)定） ·每個(gè)步驟最長(zhǎng)持續(xù)時(shí)間60s ·加速度:100 - 2000 rpm/sec （可調(diào)） ·精度: < 5%
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| 輸入電源 | ·電壓：AC 220V ·總功率：1000 W ·旋轉(zhuǎn)電機(jī)：24VDC 高速電機(jī) |
| 進(jìn)氣口 | ·一個(gè)直徑為Φ6mm進(jìn)氣口，在PTFE涂布腔頂部，客戶通入氣體，可在流動(dòng)氣氛環(huán)境下涂布樣品
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| 注液器 | ·標(biāo)配：20ml塑料注液器（圖1） ·可選1:精密數(shù)顯電動(dòng)注液器20-200ul（圖2） ·可選2:加熱型玻璃注液器，最高溫度200℃（圖3）
圖1 圖2 圖3 |
| 可選 | ·可選1：PE加熱罩，帶有PID溫度控制器，最高溫度120℃（＜10分鐘）（圖1） ·可選2：PTFE加熱罩+Φ10mm PTFE真空吸盤，最高加熱溫度200℃（＜10分鐘）（圖2） ·可選3：UV LED 365nm波長(zhǎng)，可用于旋涂材料固化和聚合 （圖3）
圖1 圖2 圖3 |
| 產(chǎn)品尺寸 | ·450mm D×280mm W ×340mm H |
| 質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期，終身維護(hù) |
| 應(yīng)用注意事項(xiàng) | ·設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)必須放在通風(fēng)柜中，排除廢氣（圖1） ·薄膜的質(zhì)量根據(jù)漿料粘度，轉(zhuǎn)速和噴霧等參數(shù)，需要用戶自己探索比較好的工藝 ·不要用任何液體過(guò)度沖洗真空卡盤，否則液體會(huì)漏入到電機(jī)，損壞設(shè)備。可以用無(wú)紡布擦拭清理設(shè)備。 ·為了進(jìn)一步優(yōu)化涂布質(zhì)量，可用等離子體清洗極片后再涂布，可在本公司選購(gòu)等離子清洗機(jī)或等離子槍（圖2&3）
圖1 圖2 圖3 |
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