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1200℃雙溫區坩堝移動管式爐
關鍵字:
坩堝移動可編程控制
型號:
OTF-1200X-II-SF-DVD
產品概述:
OTF-1200X-Ⅱ-SF-DVD 是一款真空或氣氛狀態坩堝在爐管內移動的小型開啟式管式爐系統,最高溫度為1200℃,兩個溫區有獨立的控溫儀表控制,坩堝配有隨動的檢測熱偶,坩堝可在第一個溫區內移動(也可定制全溫區移動),通過觸摸屏可以設置樣品或坩堝在爐管內的位置以并讀取樣品的實時溫度,并可以設定坩堝的移動速度同時讀取坩堝的實時溫度變化,該設備可符合混合物理化學氣相沉積(HPCVD),快速熱蒸發 (RTE),以及在各種氣氛/真空下進行的水平布里奇曼晶體生長(HDC)的多種工藝。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
名稱型號

·1200℃雙溫區坩堝移動管式爐  OTF-1200X-Ⅱ-SF-DVD


產品特點

·步進電機+減速機+壓縮真空波紋管實現坩堝在管內移動

·可以滿足真空/氣氛下的樣品移動,并可設定速度和位移

·坩堝底部有測溫熱電偶實時檢測樣品溫度

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·右端法蘭采用卡箍連接方便取放樣品

·采用雙溫區開啟式管式爐,可以滿足雙區溫度梯度,開啟是結構方便爐體降溫,并方便更換爐管

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加熱爐基本參數

·電源:AC 單相 220V 50/60HZ,

·功率:3KW

·最高加熱溫度:1200℃(<30min),

·長期工作溫度:1100℃

·爐管:

 材質:高純石英

 尺寸:φ50-800mm (管徑可定制:最大兼容φ100mm)

·管堵材質:硅酸鋁纖維(標配)

 為保持管內潔凈度,可選配石英多片式管堵

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·兩個溫區有獨立的控溫儀表控制溫度

·熱電偶兩根:三根進口K型熱電偶,兩根用于爐子控溫,一根檢測樣品溫度。

·加熱元件:電阻絲

·加熱區長度:L總:430mm(包含隔環)

        ZONE1#:200mm   ZONE2#:200mm

·推薦升溫速率:10℃/min

·爐體結構:手動開啟式

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溫控系統

·包含一款858P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃)

·PID自動控溫系統

·智能化50段可編程控制

·控溫精度:±1℃

·默認DB9 PC通信連接端口

·所有的元電件都通過UL或MET認可,并可通過世界范圍內的其他相關安全測試

·可選購電腦溫度控制軟件用于控制升溫曲線和導出數據

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不銹鋼密封法蘭系統

·一套不銹鋼水冷密封法蘭系統,密封法蘭和石英管之間采用硅膠 0型圈+壓環型圈密封方式

·右端法蘭裝有機械壓力表,不銹鋼G1/4 進氣口和截止閥,采用卡箍連接波紋管方便拆卸

·右端法蘭+壓縮波紋管安裝于電動直線滑臺上

·右法蘭內固定一個一體式的石英坩堝

·材質:石英

·尺寸:φ20mm-200mm

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·注:該坩堝尺寸可按照客戶需求定制

·左端法蘭上裝有不銹鋼G1/4出氣口和截止閥,一個 KF25 接口用于對接真空系統

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坩堝移動控制系統

·通過觸摸屏可視化控制操作

·一個K 型的鎧裝熱電偶通過法蘭伸入到爐管中,并可隨坩堝移動,可實時監測樣品的實際溫度  

·通過軟件界面操作來控制移動爐管內的坩堝(樣品臺),最大行程為200mm

·通過觸摸屏設定坩堝一定的距離和目標位置,坩堝移動速度為1m/小時(可根據要求提供變速控制,需要定制速度購買前請與我司溝通)

·在熱電偶上安裝了一個微型坩堝舟,該坩堝可以依照需求定制尺寸

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石英管

·可選高純石英管尺寸:  

·50 O.D x 44 I.D x 800 L (mm)

·60 O.D x 55 I.D x 800 L (mm)

·80 O.D x 75 I.D x 800 L (mm)

·100 O.D x 95 I.D x 800 L (mm)

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水冷機

·水冷機外置,用于冷卻門和爐頂密封圈

·電源:AC220V  50HZ (加熱爐主體提供三孔電源)

·功率:0.8KW

·壓縮機功率:0.6KW

·冷卻劑:R22/R410-a(650g)

·工作電流:1.4-2.1A

·溫度控制:5~30℃

·溫度精度:±0.3℃

·換熱器:不銹鋼

·制冷量:2361Btu/h

·水箱容量:6L

·出入水口:外徑12mm銅咀

·最大流量:16L/mi

·外形尺寸:長410mm*寬580mm*高465mm(長度包含過濾器長度)

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真空系統(選配)

·配套機械泵,真空度可以達到10-2 ttor

·配套分子泵,真空度可以達到10-5 ttor(選配)

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重量

·約100kg


產品尺寸

·外形尺寸:2200X500X780mm(長*寬*高) 

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保質期

·1年(不包含爐管,氟膠0型圈和加熱元件等損耗件)


注意事項

·石英管內氣壓不可高于0.02MPa

·由于氣瓶內部氣壓較高,所以向石英管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

·對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥, 以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

·我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責     


視頻

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       展示視頻                   操作視頻

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