| 設備名稱型號 | ·反射膜厚儀 SR-C |
| 基本參數 | ·電源：AC 220V 50HZ ·功率：60W ·基本功能：獲取薄膜厚度值以及 R 、N/K 等光譜 ·光譜分析范圍：380nm-1000nm ·測量光斑大小：標準1.5mm，最小 0.5mm ·膜厚重復性測量精度：0.02nm (100nm硅基 SiO2樣件，500次重復測量) ·膜厚絕對精度：0.2% 或 2nm 之間較大者 ·膜厚測量范圍：15nm-70μm ·測量 n 和 k 值厚度要求：100nm以上 ·單點測量時間：≤1s ·光源：高性能進口標準鹵素燈光源 ·基板尺寸：最大支持樣件尺寸到200*200mm(可升級定制不同尺寸樣品臺) |
| 測控與分析軟件 | ·分析軟件：多達數百種的光學材料常數數據庫，并支持用戶自定義光學材料庫；提供多層各向同性光學薄膜建模仿真與分析功能 ·光譜測量能力：反射率光譜測量 ·數據分析能力：膜厚分析能力，光學常數(折射率和消光系數) ·支持常用光學常數模型以及常用振子模型(柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等)； ·支持用戶自定義，可授權離線分析軟件模擬實際測量，支持 windows 10 操作系統
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| 涂裝與表面處理 | ·涂裝顏色：以黑白灰色為主 ·表面處理：鍍化學鎳、陽極處理、烤漆等 |
| 配件 | ·標準SiO2/Si標樣 ·K9玻璃標樣 ·標準安裝工具一套 |
| 環境要求 | ·承載臺：尺寸>1.0m (長)×0.7m (寬)，承載能力大于20Kg ·使用溫度范圍：20 ~ 26 ℃ ·相對濕度：35% ~ 60% RH ·空氣壓力范圍：750~1014 mbar ·潔凈度：Class 1000 |
| 質保與售后服務 | ·整機硬件質保期為12個月。在質保期內出現各類故障供方及時免費維修，對非人為造成的各類零件損壞，及時免費更換 ·測控與分析軟件：終身免費升級，數據分析軟件提供不限量拷貝 ·為用戶提供全面充分儀器操作與數據分析培訓 ·提供12個月免費數據建模與分析技術支持，免費期為用戶提供樣件材料光學常數標定與模型庫升級服務 |
| 視頻 |
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皖公網安備 34012302000974號
