| 設備名稱型號 | · 1200℃升華沉積收集系統(tǒng) OTF-1200X-III-80 |
| 電源＆功率 | · AC 220V 50/60HZ · 9.5KW |
| 爐管與進氣管 | · 設備標配一根異形的石英管，在長度1200mm處垂直向下 · 石英管尺寸：外徑80*壁厚3*長1200/1000mm
· 法蘭的進氣口內(nèi)部安裝了一個單端開口，石英材質(zhì)的進氣管，尺寸：外徑8*壁厚1.5*長180mm。進氣管末端有一些通孔，使氣體能分散噴出 · 在氣體預熱爐爐膛內(nèi)安裝了一個多孔石英擋板，有六層，每層間隔80mm，總尺寸：φ70*404mm。多孔石英擋板能減緩氣體在爐管內(nèi)的流動，使氣體能充分加熱
|
| 氣體預熱爐參數(shù) | · 電源：AC 220V 50/60HZ · 最高加熱溫度：1100℃（＜30min） · 長期使用溫度：1000℃ · 加熱區(qū)長度：400mm · 推薦升溫速率：≤10℃/min · 加熱元件：電阻絲 · 熱電偶：K型 |
| 氣體保溫爐參數(shù) | · 此保溫爐用于氣體保溫和爐管轉折處保溫氣體，為分瓣式，設備左側與下部帶有圓形弧口，將爐管包裹。分為兩段，一段直管子，加熱區(qū)長度400mm · 電源：AC 220V 50HZ · 最高加熱溫度：1200℃（＜30min） · 長期使用溫度：1100℃ · 加熱區(qū)尺寸：直管部分長度400mm，轉折處長度：200*200*200mm · 推薦升溫速率：≤10℃/min · 加熱元件：電阻絲 · 熱電偶：K型 |
| 立式管式爐參數(shù) | · 電源：AC 220V 50HZ · 最高溫度：1200℃（＜1h） · 連續(xù)工作溫度：1100℃ · 推薦升溫速率：≤10℃/min · 熱電偶：K型 · 加熱元件：電阻絲 · 加熱區(qū)長度：400mm |
| 不銹鋼密封系統(tǒng) | · 一對316L材質(zhì)的不銹鋼密封法蘭安裝在爐管兩端 · 左端法蘭上有兩個316L材質(zhì)的進氣口，一個為工作氣體進氣，一個為惰性氣體進氣口，兩個進氣口分別通過一個不銹鋼針閥手動控制進氣的通斷；安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa的機械壓力表用于觀察爐管內(nèi)壓力，一個KF16接口上安裝了一個數(shù)顯防腐真空計 · 下法蘭上含有一個316L材質(zhì)的出氣口，通過一個316L材質(zhì)的隔膜閥控制出氣的通斷；安裝了一個安全泄壓閥，當爐管內(nèi)氣壓達到上限壓力時，安全閥自動打開排氣；一個KF25接口為抽真空接口，通過波紋管與真空系統(tǒng)連接，（出氣口、排氣口需安裝尾氣處理裝置，處理裝置客戶自備）；一個KF50接口與收料罐組件上的球閥連接
|
| 收集罐組件 | · 立式爐底部法蘭采用快速連接的方式安裝了兩個球閥，兩個球閥底部與收集罐連接；球閥與收集罐均為316L材質(zhì) · 收集罐尺寸約：φ166*290mm（高） · 收料罐上蓋另有一個KF接口，可用于連接其他檢測設備 · 一個可伸縮的升降平臺放置在收料罐底部，可調(diào)節(jié)收料罐與爐管法蘭的間距
|
| 溫控系統(tǒng) | · 預熱爐、保溫爐與立式高溫爐都包含一款858P型溫度控制器；分別獨立控溫，控制系統(tǒng)集中在控制柜上，控制柜與設備為分體式，通過信號線連接，能遠距離控制設備 · 智能化50段可編程控制 · 內(nèi)置過熱保護和熱電偶故障報警 · 控溫精度：±1℃ · 默認DB9 PC通信連接端口 · 通過MET認證 · 可選購電腦溫度控制軟件(用于858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù)
|
| 真空系統(tǒng)（選配） | · 型號：VRD-8 · 抽氣速率：2.2 L/S · 電機功率：370 W · 極限壓強：5×10-1Pa（不帶負載） · 為了得到更高的真空度，可以選購我公司的其他高真空系統(tǒng)
|
| 設備外形尺寸 | · 1200℃升華沉積系統(tǒng)：1800*600*2050 mm（長*寬*高） · 控制柜：610*650*1360 mm（長*寬*高）
|
| 重量 | ·約345KG |
| 質(zhì)保 | · 一年質(zhì)保期，終生維護 · 特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
注意事項 | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）； · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。 |
Copyright © 2019 合肥科晶材料技術有限公司 版權所有 皖ICP備09007391號-1 
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號
查看誠信檔案
