| 設備結構 | ·三溫區立式加熱爐，最高溫度1100℃ ·配有高純石墨坩堝和石墨樣品臺 ·腔室頂蓋自動打開，位于手套箱內，方便樣品和支架更換 ·手套箱內部裝有自動移動架和大型轉移室自動門，便于樣品更換和放置 |
| 電源要求 | ·單相AC 220V 50/60HZ ·最大功率6 kW |
| 加熱元件 | ·電阻絲 |
| 工作溫度 | ·最高工作溫度：1100oC (< 1 hr.) ·連續工作溫度1000oC ·建議升溫速率≤10°C/min |
| 加熱區 | ·150mm+200mm+150mm (3個加熱區獨立控制) ·恒溫區長度: ≥ 170mm ·恒溫區中的溫度均勻性: 400-600°C ±3°C 600-900°C ±0.5°C |
| 晶體生長 | ·最大基材尺寸：≤60*60mm ·每批基板數量：≤3片 ·上拉機構行程：100mm ·上拉速度范圍：0.05mm/h -10mm/h ·拉桿旋轉速度范圍：1-10rpm |
| 高壓腔體 | ·SS304不銹鋼 ·腔室尺寸：φ370mm（外腔）*φ350mm（內腔）*1200mm ·最大壓力：1.2 MPa（≤700℃） ·流動氣氛下恒壓控制，壓力控制精度：±1% ·進氣口配有質量流量控制器，進氣流量計量程：1000sccm ·壓力傳感器安裝在腔室頂蓋上，實時監測內部壓力變化 ·電磁安全閥與機械安全閥雙重安全保護 |
| 手套箱系統 | ·電源：220VAC， 50/60Hz，單相 ·功率:2KW ·腔室材料：304不銹鋼 ·前后開口鋼化安全玻璃窗設計 ·有效內部尺寸：1200*800*1200mm（長*寬*高） ·在手套箱箱體頂部安裝滑動料盤接口：機箱背面有4個KF40接口 ·2個過渡倉： ·大過渡倉尺寸：Φ360mm ID ×長度600mm ·小過渡倉尺寸：Φ150mm ID ×長度300mm ·滑動托盤內安裝有大型自動門傳送室 ·最大真空度：100Pa ·丁基橡膠手套尺寸：Φ203mm × 813mm ·循環工作氣體：N2、Ar、He ·鼓風量：90m3/h ·觸摸屏PLC控制，自動再生 ·再生氣體：混合氫氣的工作氣體（氫氣5%-10%） ·標配240L/min抽速雙極旋片機械泵，泵出口處安裝油霧過濾器 |
| 溫度和壓力控制系統 | ·PID自動溫度控制系統 ·溫度控制精度：±0.1°C ·熱電偶：K型 ·觸摸屏控制三個獨立的溫度區域控制器 ·加熱曲線可以在觸摸屏上查看，保存和導出 ·壓力可以在觸摸屏上設置 ·內腔壓力實時顯示 ·真空泵和真空閥可通過觸摸屏控制 |
| 真空系統 | ·泵送速率：6l /S ·極限壓力：4*10-1Pa（無負載，僅機械泵） ·額定功率：1500w |
| 產品尺寸 | ·泵送速率：6l /S ·極限壓力：4*10-1Pa（無負載，僅機械泵） ·額定功率：1500w |
| 產品重量 | ·~500kg |
| 應用注意 | ·本設備正常工作溫度可達1000℃，最大壓力1.2MPa（高純氬氣環境下）。操作時請勿超過溫度或壓力限制 ·不要引入腐蝕性氣體，如氯化物或硫化物，因為它們可能損壞組件 ·待爐溫恢復到室溫后再打開爐蓋。樣品可能仍處于高溫狀態，請小心操作，并使用手套或其他工具 |
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皖公網安備 34012302000974號
