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  • 1200℃七溫區開啟式管式爐
  • 小型粉末PVD濺射儀 (配直流磁控濺射,樣平臺可振動)
  • 混合式制膜器:刮刀(150mm)+擠壓頭(100mm)
  • 8工位高通量磨罐(25ml/工位,適用于MSK-SFM-15或SFM-1/15球磨機)
  • 金剛石曲線切割機
  • 數控全自動金剛石線切割機(最大樣品尺寸53mm)
  • 全自動金剛石線切割機
  • 金剛石線切割機
  • 循環式精密金剛石線切割機
  • 4路質子混氣管式PECVD系統(帶滑軌、labview)
  • 1700℃晶體生長爐(適用于TSSG,爐腔尺寸:Φ240*300mm)
  • 500℃真空層壓機
  • 1400℃箱式爐(36L,爐腔尺寸:300*400*300mm)
  • 1700℃大型下裝載氣氛箱式爐(216L,爐腔尺寸:600*600*600mm)
  • 1400℃快速加熱微波箱式爐 (10℃/min,有效燒結空間:190×180×125mm)
  • 1600℃微波箱式爐 (10℃/min,0.3L,最大裝料容積:95×95×30mm)
  • 大型1400℃下裝載氣氛箱式爐(歐陸表,125L,爐腔尺寸:500*500*500mm)
  • 1400℃軌道雙開門式馬弗爐(18.8L,爐腔尺寸:250*250*300mm)
  • 1700℃下裝載雙載物臺連續燒結爐(18.5L,爐腔尺寸:Φ280*300mm)
  • 臺式金剛石線切割機
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  • 全自動金剛石線切割機

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