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1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統
型號：
OTF -1200X-4- C4LVS
產品概述：
OTF-1200X-4-C4LVS?雙管爐是?一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻。請點擊下圖觀看爐子的工作原理。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
名稱

1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統
視頻

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      操作視頻

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         儀表操作視頻
爐體結構

· 高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性.

· 內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命/

· 爐子底部的冷卻風扇保證了熱量正常對外釋放.

密封法蘭系統全不銹鋼制作。
電源

電源:208-240VAC,  50/60Hz, 單相,  2.5KW ( 20A 保險絲)
加熱溫度

最高溫度: 1100°C
     連續溫度: 1000°C
加熱區

 加熱區長度: 440mm 
加熱和冷卻速度

最快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關，  請點擊下圖可以看出最快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
( 在使用爐子之前，要校準工作溫度和加熱、冷卻速度 )

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石英管

外管:    OD100 x ID 96 x 1400, mm
    內管:    OD80 x ID 75 x 1800 mm
真空法蘭

· 一對 SS304不銹鋼法蘭，通過用兩個高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。

· 爐子底部裝有一對滑軌

· 爐子可以手動從一端滑向另一端，實現快速的加熱和冷卻。

· 為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預熱，然后滑到放置樣品的位置。

· 為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時將冷卻氣體通入樣品所在的位置。

OTF-1200X-4-C4-SL-UL 1.jpg OTF-1200X-4-C4-SL-UL 2.jpg      OTF-1200X-4-C4-SL-UL 3.jpgOTF-1200X-4-C4-SL-UL 4.jpg

             左法蘭（點擊查看大圖）                               右法蘭（點擊查看大圖）


· 極限真空度: 10^-2 torr (機械泵)
                  10^-5 torr (分子泵)

· 可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。（點擊圖片查看詳細介紹）

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溫控儀

· 溫控儀:帶超溫保護和PID調節的 50 段程序控制。

· 控溫儀表操作視頻

控溫精度: +/-1°C
混氣系統

4路精密質子流量計：數字顯示、氣體流量自動控制.

· MFC 1范圍:  0~100 sccm

· MFC 2范圍:  0~200 sccm

· MFC 3范圍:  0~200 sccm

· MFC 4范圍:  0~500 sccm

· 氣路: 4 路

· 流量精度: 0.2%

· 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套

· 一個混氣罐.

· 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。  

· 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量. 請看下圖

MFC 面板(點擊放大)

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真空泵

· 安裝在移動架底部的機械泵，真空度達 10-3 Torr.

· 真空泵與手動擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 .

· 數字真空表安裝在一端的法蘭上.

 選擇: 可以配分子泵，真空度達 10-5 Torr??   
作為基片用的25um厚的銅箔? (選配）

生長石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)

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尺寸（mm)

爐體: 550 x 380 x 520
    移動架: 600x600x597
凈重

300 lb
保修期

一年質保期 (耗材：如爐管，“O”型圈，和加熱元件等不在保修范圍內）
使用注意事項

· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

· 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態

· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度＜1100℃

對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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