| 名稱 | 1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng) |
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| 視頻 |
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| 爐體結(jié)構(gòu) | · 高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性. · 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命/ · 爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放. 密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。 |
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| 電源 | 電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲) |
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| 加熱溫度 | 最高溫度: 1100°C |
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| 加熱區(qū) | 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm |
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| 加熱和冷卻速度 | 最快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān)， 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖可以看出最快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
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| 石英管 | 外管: OD100 x ID 96 x 1400, mm |
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| 真空法蘭 | · 一對(duì) SS304不銹鋼法蘭，通過(guò)用兩個(gè)高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。 · 爐子底部裝有一對(duì)滑軌 · 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。 · 為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置。 · 為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時(shí)將冷卻氣體通入樣品所在的位置。
左法蘭（點(diǎn)擊查看大圖） 右法蘭（點(diǎn)擊查看大圖） · 極限真空度: 10^-2 torr (機(jī)械泵) · 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
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| 溫控儀 | · 溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 50 段程序控制。 · 控溫儀表操作視頻 控溫精度: +/-1°C |
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| 混氣系統(tǒng) | 4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制. · MFC 1范圍: 0~100 sccm · MFC 2范圍: 0~200 sccm · MFC 3范圍: 0~200 sccm · MFC 4范圍: 0~500 sccm · 氣路: 4 路 · 流量精度: 0.2% · 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套 · 一個(gè)混氣罐. · 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。 · 通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量. 請(qǐng)看下圖 MFC 面板(點(diǎn)擊放大)
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| 真空泵 | · 安裝在移動(dòng)架底部的機(jī)械泵，真空度達(dá) 10-3 Torr. · 真空泵與手動(dòng)擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 . · 數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上. 選擇: 可以配分子泵，真空度達(dá) 10-5 Torr?? |
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| 作為基片用的25um厚的銅箔? (選配） | 生長(zhǎng)石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
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| 尺寸（mm) | 爐體: 550 x 380 x 520 |
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| 凈重 | 300 lb |
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| 保修期 | 一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O”型圈，和加熱元件等不在保修范圍內(nèi)） |
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| 使用注意事項(xiàng) | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 · 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
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