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三溫區頂部籽晶助溶劑法(TSSG)單晶生長爐
關鍵字:
最高溫度1200℃
型號:
VTF-1200X-III-TSSG
產品概述:
VTF-1200X-III-TSSG是一款3溫區頂部籽晶助熔劑法(TSSG)晶體生長爐。此設備主要由3部分組成:3溫區加熱爐(爐膛尺寸為:Φ127mm×600mm,最高溫度為1200℃),溫控系統可設置28段溫度程序段,控溫精度±1℃和精密旋轉提拉機構,其提拉速度為0.8-50mm/hour.
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爐體

3溫區加熱: 150mm+300mm+150mm,三個溫區由獨立的溫控系統控制,可創造出較大的溫度梯度

最高工作溫度: 1200℃(小于1小時)

連續工作溫度:  1100oC

功率:  208V- 240V AC, 50/60Hz, 單相

最大功率: 5KW


控制面板

· PLC觸摸屏控制面板,可設置和控制提拉行程,提拉速度和旋轉速度等

· 溫控系統:可設置28段溫度段,采用PID方式調節溫度,其控溫精度為±0.1℃

· 升溫速率: 0~10oC / min

· 提拉速度: 0.8-50mm/h (可調)

· 下降速度: 40 mm/minute

· 籽晶桿轉速: 0.1-23 RPM(可調)


最大提拉行程

300mm


加熱腔體

· 腔體直徑為Φ135mm(設計為開啟式),最大可直徑為Φ80mm的坩堝

· 加熱區長度600mm

可選購真空密封件:直徑為Φ127mm的石英管和密封法蘭

 VTF-1200X-III-TSSG 5.png   VTF-1200X-III-TSSG 6.png


設備尺寸

     標注尺寸.jpg

質保

一年質保期,終身維護(不包含爐管,密封圈和加熱元件等耗材)


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