| 設備名稱 | 1200℃5英寸三溫區等離子增強粉體回轉爐系統 （2019.10.31-科晶實驗室審核） |
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| 產品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示 |
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| 產品特點 | ? 爐體在0 - 25°內傾斜，有利于粉末樣品的裝卸； ? 齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性； ? 四通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控； ? 配備自動進出料系統可實現連續生產，可保證在氣氛保護環境下進行粉體的進給和收集。 |
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| 加熱爐參數 | 三溫區回轉爐 ? 最高溫度：1200℃（<30min）；連續工作溫度：1100℃； ? 三個PID溫度控制器及50段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃； ? 輸入功率：208-240 V，單相，最大功率：4 KW； ? 高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗； ? 回轉爐旋轉速度：2-10 rpm； ? 爐體開啟式設計以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。
更多參數請聯系科晶銷售部 |
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| 射頻電源 |
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| 真空系統 | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。
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| 供氣系統 | ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
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| 產品尺寸和重量 | ? 設備尺寸：2800mm L× 800mm W×1700mm H ? 供氣系統：600mm L×700mm W×700mm H ? 凈重：180 kg
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| 認證 | ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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| 承諾 | ? 一年質保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
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| 國家專利 | 專利名稱：一種自動收送料等離子回轉升降爐系統 專利號：ZL 2020 2 0542143.6 尊重原創、鄙視抄襲、侵權必究。 |
科晶應用技術實驗室利用PECVD在不同功率（75W、150W、300W）條件下沉積Sb2Se3薄膜，實驗結果如下：
組別 | SEM結果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
未經任何處理的樣品
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| 40.01 | 59.99 |
等離子體處理
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| 41.04 | 58.96 |
等離子體處理 min
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| 41.64 | 58.36 |
等離子體處理5 min
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| 41.86 | 58.14 |
小結:
（1）等離子體能改變Sb2Se3薄膜的形貌，同時改變Sb2Se3的組成；
（2）隨著射頻電源功率的增加，Sb2Se3中的Se百分含量降低。
組別 | SEM結果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
10W、條件下沉積Sb2Se3
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| 40.01 | 59.99 |
75W、條件下沉積Sb2Se3
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| 70.28 | 29.72 |
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| 43.13 | 56.87 |
75W、且補充2粉末（10%質量比Sb2Se3）沉積Sb2Se3 |
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| Sn: 22.78 Sb: 25.77 | 51.44 |
小結:
（1）低功率等離子體條件下可得到近原子比的Sb2Se3；
（2）高壓條件下可得到富Sb的Sb2Se3薄膜；
（3）添加Se會破壞PECVD沉積的Sb2Se3的原子比；
（4）當SnSe2質量比為10%時，可以得到Sb：Sn摩爾比接近于的薄膜，該方法適用于摻雜。
XRD結果
警示 | （1）爐管內氣壓不可高于0.02 MPa； （2）由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全； （3）石英管的長時間使用溫度＜1100℃； （4）當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態。 |
應用技術提示 | （1）通入爐內氣體流量需小于200 sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管造成沖擊； （2）加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02 MPa，需立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂、法蘭飛出等）。 |
石英管 | （1）標準5英寸高純異形石英管； （2）兩端直徑為60mm，中間直徑為127mm。
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密封法蘭 | （1）一對不銹鋼快接法蘭（法蘭上安裝有KF25真空接頭）； （2）磁流體密封旋轉接頭安裝在兩端，以保證旋轉過程中進氣管和其它附件的正常使用，避免卷繞。 配件法蘭1 配件法蘭2 |
進料/收料器 | （1）EQ-PF-1S是一款容積式自動進料器，包含電動攪拌器及帶有振動裝置的不銹鋼料斗，可實現固體粉料的自動化進料，從而實現固態粉料的連續式燒結/熱處理； （2）2L不銹鋼收集桶安裝在右側，可實現真空氣氛保護環境下的粉料樣品收集（標配中包含）
進料器 收料器 |
真空泵及真空表 | （1）EQ-YTP-550雙級真空泵包含在設備中，請點擊圖片了解詳細參數； （2）KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； （3）真空度可達10-2Torr； 注：可選購防腐型數顯真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氫氣等其他氣體氛圍下的真空度測量
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四通道質子流量計控制系統 | （1）四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； （2）流量范圍: 一路: 0-100 sccm 二路: 0-200 sccm 三路: 0-200 sccm 四路: 0-500 sccm （3）電壓：208-240V AC 50/60Hz； （4）氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； （5）不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； （6）PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
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